Projet upgrade implanteur Whickham
L’université McMaster d’Hamilton, au Canada, avait besoin d’upgrader son implanteur Whickham™ afin de pouvoir implanter des wafers de 150 mm (6”). CAP Engineering a mis au point une chambre R&D équipée d’un porte-substrat universel pour tout type d’échantillons jusqu’à 150 mm, d’un système d’apertures interchangeable, d’un “setup flag” escamotable et d’un système de balayage et de focalisation électrostatique.
Mission : conception, fabrication et upgrading
Client : McMaster University, Hamilton, Canada
Livraison : 2013
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Fabrication et installation d’une chambre R&D pour échantillons de 150 mm. Mise au point d’un système de focalisation et de balayage électrostatique
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Fabrication d’un porte-substrat universel pour échantillon jusqu’à 150 mm, d’une chambre de traitement, d’un système de balayage et de focalisation électrostatique
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Réalisation d'un plateau chauffant 500°C pour wafer 4 pouces pour cette même université
