Projet source sputtering pour Varian 350D
Pour pouvoir produire des faisceaux d’ions de matériaux nobles comme l’or, le tungstène ou encore le platine, l’implanteur Varian 350D du laboratoire ITHEMA a été upgradé par Cap engineering solutions & services. Un dispositif de contrôle a été mis en place dans la machine ainsi que des racks électroniques supplémentaires spécifiques. Le design de cette source d'ions spécifique a été réalisée avec la collaboration de la société IONLINKS.
Mission : upgrade
Client : ITHEMA Wits University, Afrique du Sud
Livraison : 2012
Upgrade d’une source sputtering pour implanteur Varian 350D permettant la production de faisceaux d'or, de platine, de fer et de bien d’autres espèces sans gaz toxiques ou corrosifs.
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Fournir une source d’ions de type sputtering sur un équipement pour lequel elle n’avait pas été prévue à l’origine afin de produire des espèces qu’elle n’avait pas pu produire jusqu’à maintenant (notamment ion or)
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Implanter un dispositif de contrôle et des alimentations spécifiques supplémentaires dans la machine
