Projet UPGRADE IMPLANTEUR AXCELIS NV3204
Un implanteur ionique NV3204 datant des années 80 devait être reconditionné afin de rendre la machine plus fiable. Des améliorations ont également été portées et de nouvelles fonctionnalités ajoutées au cours de cette mission de reconditionnement et d’upgrading.
Mission : reconditionnement et upgrade
Client : CNRS de Poitiers (86)
Livraison : 2013
Projet de reconditionnement d’un implanteur ionique NV3204 construit au début des années 80, modernisation et fiabilisation de la machine :
- Remise aux normes de sécurité des équipements
- Amélioration de l’électronique et de la gestion des fluides
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Rénovation du réseau électrique, du système de contrôle commande et mise au point d'un logiciel de supervision sous LabVIEW
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Réalisation d'une boîte à gaz, d'une source sputtering, mise en œuvre d'un nouveau système de balayage et de dosimétrie
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Ajout de nouvelles fonctionnalités : possibilité d’utiliser des sources sputtering à pulvérisation cathodique et installation d’un mode de décélération pour faisceau d'ions jusqu'à 1KV
